磁悬浮微进给机构研究
Research on Micro Feed Mechanism Based on Magnetic Levitation Technology作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究 吉林大学机械科学与工程学院
出 版 物：《中国机械工程》 (China Mechanical Engineering)
年 卷 期：2003年第14卷第13期
页 面：1090-1093页
核心收录：
学科分类：08[工学] 080203[工学-机械设计及理论] 0802[工学-机械工程]
基 金：吉林省 2 0 0 2年度自然科学基金资助项目(2 0 0 2 0 62 1 ) 2 0 0 2年度中国科学院研究生科学与社会实践资助专项创新研究类项目
摘 要：导轨副的摩擦和磨损影响机构的进给精度 ,摩擦产生的金属粉尘使微进给机构不能满足超洁净制作环境要求。磁悬浮技术应用于微进给机构 ,可消除摩擦。结合直线电机能实现零传动的特点 ,分别设计了磁悬浮轴承形式和磁悬浮导轨形式的两种微进给机构 ,分析了它们的特点 ,阐明了进一步改善的方向。理论分析计算该微进给机构在垂直及水平方向的误差可控制在± 1 μm内 。
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