声表面波器件中非同步区域体波散射的抑制

作     者：王为标 张晓东 吴浩东 水永安 章德 Victor P.Plessky WANG Wei-biao;ZHANG Xiao-dong;WU Hao-dong;SHUI Yong-an;ZHANG De;Victor P. Plessky

作者机构：南京大学近代声学国家重点实验室江苏南京210093 GVR Trade SABevaix 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2006年第28卷第3期

页      面：253-255,259页

核心收录：

学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 1002[医学-临床医学] 0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0703[理学-化学] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(10074034和10304012) 南京大学近代声学国家重点实验室基金资助项目 

主　　题：声表面波器件 非同步 体波散射 自由间隙 

摘      要：用有限元/边界元法(FEM/BEM)研究了表面波器件中非同步区域中体波散射引起的损耗。以典型的hiccup单端对谐振器作参考结构,用结构参数缓慢变化的间隙取代其中间的自由间隙。研究发现,改变间隙参数可在保持谐振频率不变的同时,提高谐振器的品质因数值。对分布间隙和风琴间隙两种间隙结构进行对比,结果表明,前者优于后者。将传统DMS滤波器中的金属化间隙以分布间隙取代,可找到一个优化的分布间隙结构,使插损提高0.3 dB。