双针表面形貌测量系统的研究
Research on a Dual-stylus Measurement System for Surface Topography Characterization作者机构：华中科技大学精密仪器测试中心武汉430074 香港科技大学机械工程系
出 版 物：《计量学报》 (Acta Metrologica Sinica)
年 卷 期：2002年第23卷第3期
页 面：171-173,236页
核心收录：
学科分类：08[工学] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程]
主 题：双针表面形貌测量系统 表面特征提取 光学位移传感器 触针位移传感器
摘 要：介绍一种新颖的双针表面形貌测量系统 ,它将光学位移传感器和触针位移传感器巧妙地结合在一起 ,从而具有接触和非接触两种测量手段。与单一测量模式的表面形貌测量仪器相比 ,它的性能价格比更高 ,应用范围更广。该测量系统已投入实用 ,接触测量模式下其垂直测量范围和垂直分辨率分别是 1mm和 10nm ,非接触测量模式下分别是 5 0 0 μm和 3nm。实践证实 ,该系统使用灵活 。
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