基于SOI的三轴压阻微加速度计的设计
The Design of Three-Axis Accelerometer Based on SOI作者机构：中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室太原030051
出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)
年 卷 期：2008年第21卷第3期
页 面：454-456页
核心收录：
学科分类：080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程]
摘 要：为了解决现有三轴加速度计机械精度差的问题,提出了一种基于SOI的单质量块三轴压阻微加速度计。采用四边四梁结构,根据梁上扩散的压敏电阻在分别受到三个方向惯性力作用时变化量不同设计三个方向的惠斯通电桥,实现三维加速度矢量的检测。运用ANSYS软件对结构进行建模仿真,最后设计了一套可行的工艺流程。
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