溶胶-凝胶法制备钛酸镧铅薄膜及其介电调谐特性

作     者：熊惠芳 蒋力立 唐新桂 刘秋香 Xiong Huifang;Jiang Lili;Tang Xingui;Liu Qiuxiang

作者机构：广东工业大学广东广州510006 

出 版 物：《稀有金属材料与工程》 (Rare Metal Materials and Engineering)

年 卷 期：2008年第37卷第A02期

页      面：174-176页

核心收录：

学科分类：07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0702[理学-物理学] 

基　　金：广东省自然科学基金资助(05001825) 

主　　题：溶胶-凝胶法 钛酸镧铅 薄膜 铁电存储器 介电调谐特性 

摘      要：在Pt(111)/Ti/SiO2/Si(100)衬底上,用溶胶-凝胶法制备出多晶(Pb(1-x)/100Lax/100)Ti(1-x/4)/100O3(x=28,简称PLT28)薄膜。PLT28薄膜的平均晶粒尺寸为25～30nm,薄膜均匀致密。PLT28薄膜在300kV/cm电场作用下,自发极化强度(Ps)、剩余极化强度(Pr)和矫顽场(Ec)分别为11.9μC/cm2、0.77μC/cm2和8.1kV/cm。在外加电场363kV/cm时,PLT28薄膜的相对介电常数与介电调谐率高达1242%和68.4%。