硅表面原子芯态能级的化学位移
Core Level Chemical Shift for Silicon Surface Atoms作者机构:中国科学院半导体研究所
出 版 物:《Journal of Semiconductors》 (半导体学报(英文版))
年 卷 期:1989年第10卷第1期
页 面:8-11页
核心收录:
学科分类:08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)]
基 金:国家自然科学基金
摘 要:本文以共价晶体硅的(100)面为例,直接采用原子波函数,在键轨道模型近似下计算了清洁和存在氧吸附的表面Si原子的2p能级结合能的位移,得到了与实验数据相吻合的结果,从而证明了利用这种方法研究芯能级结合能的位移是行之有效的.