基于微细加工技术的微谐振腔型滤波器

作     者：宋康 李以贵 陈水良 SONG Kang, LI Yi-gui, CHEN Shui-liang(Key Laboratory for Thin Film and Micro-Frication Technology, Ministry of Education, Institute ofMicro/Nanometer Science and Technology, Shanghai Jiaotong University, Shanghai 200030, China)

作者机构：上海交通大学微纳米技术研究院薄膜与微细技术教育部重点实验室上海200030 

出 版 物：《中国激光》 (Chinese Journal of Lasers)

年 卷 期：2004年第31卷第6期

页      面：659-661页

核心收录：

学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程] 

主　　题：激光技术 硅模具 微细加工技术 微谐振腔滤波器 

摘      要： 设计了一种新工艺———利用硅微结构直接作为模具来制作微小固体染料激光器谐振腔型滤波器。首先通过组合刻蚀工艺制作硅模具 ,再利用硅模具复制得到微谐振腔。组合刻蚀工艺是采用深层反应离子刻蚀 (deep RIE)再结合EPW湿法刻蚀 (一种各向异性刻蚀技术 )。由于EPW湿法刻蚀对〈110〉面刻蚀速率较慢 ,可制作出具有光学镜面的侧壁〈110〉的硅模具 ,利用此模具可复制出正方形固态染料微谐振腔。以激光染料若丹明 6G掺杂的聚甲基丙烯酸甲脂 (PMMA)为工作物质 ,在调QNd∶YAG自倍频激光 5 32nm抽运下 ,得到 6 0 0nm波长的激光输出。这种谐振腔可应用在染料激光器和滤波器中 ,对其原理、设计、制作工艺和性能都作了介绍。