热处理工艺对溶胶-凝胶法制备ZnO:Al薄膜光电性能的影响

作     者：彭寿 金良茂 王芸 汤永康 甘治平 王东 石丽芬 单传丽 

作者机构：蚌埠玻璃工业设计研究院浮法玻璃新技术国家重点实验室安徽蚌埠233000 

出 版 物：《硅酸盐学报》 (Journal of The Chinese Ceramic Society)

年 卷 期：2015年第43卷第4期

页      面：451-457页

核心收录：

学科分类：07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0703[理学-化学] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家"973"计划(2012CB724608)资助项目 

主　　题：铝掺杂氧化锌薄膜 热处理 光电性能 溶胶-凝胶法 

摘      要：采用溶胶-凝胶法以提拉的方式在普通玻璃基底上制备出ZnO:Al(AZO)薄膜。通过X射线衍射仪、场发射扫描电子显微镜、方块电阻测试仪、Hall效应测试仪、紫外-可见-红外分光光度计研究了薄膜物相、微观结构、光电性能;分析了不同热处理方式对于薄膜光电性能的影响。结果表明:经10次提拉所制备薄膜可见光透过率85%左右。热处理工艺的选择对于提升AZO薄膜的电学性能至关重要,相比于空气气氛和真空下的热处理,采用具有还原性的5%H_2和95%N_2的混合气氛热处理得到了具有最好电学性能的AZO薄膜。在550℃还原气氛下保温60 min得到薄膜方块电阻约为300Ω/□,电阻率约为3.3×10^(-3)Ω·cm。