稀薄气体流动特点及研究现状分析

作     者：罗建斌 徐斌 薛宏 吴建 LUO Jian-bin;XU Bin;XUE Hong;WU Jian

作者机构：河南科技大学车辆与动力工程学院河南洛阳471003 

出 版 物：《河南科技大学学报（自然科学版）》 (Journal of Henan University of Science And Technology:Natural Science)

年 卷 期：2005年第26卷第1期

页      面：22-26页

学科分类：080704[工学-流体机械及工程] 080103[工学-流体力学] 08[工学] 080104[工学-工程力学] 0807[工学-动力工程及工程热物理] 0801[工学-力学（可授工学、理学学位）] 

基　　金：教育部留学人员科研启动基金(2001年度) 

主　　题：稀薄气体流动 梯度 流体力学 表面力 极性 表面效应 尺度效应 航空航天技术 MEMS 

摘      要：随着航空航天技术以及微电子机械系统(MEMS)的发展和广泛应用,稀薄气体流动的研究越来越被重视。稀薄气体流动中涉及到稀薄效应问题,在传统流体力学中可忽略的一些影响因素,比如表面力,面容比,梯度参数效应等变得重要起来。由于尺度效应、表面效应等因素的影响,稀薄气体流动表现出自己的特点:流动涉及的表面积与体积之比增强、梯度参数效应,表面效应,流体极性等。针对微电子机械系统,对稀薄气体流动的研究现状进行了综述,并对其特点进行了分析。