空间调制傅里叶变换红外光谱仪多级微反射镜倾斜误差分析

作     者：郑莹 梁静秋 梁中翥 ZHENG Ying;LIANG Jing-qiu;LIANG Zhong-zhu

作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室吉林长春130033 中国科学院研究生院北京100049 

出 版 物：《光谱学与光谱分析》 (Spectroscopy and Spectral Analysis)

年 卷 期：2012年第32卷第7期

页      面：1999-2002页

核心收录：

学科分类：07[理学] 070302[理学-分析化学] 0703[理学-化学] 

基　　金：国家自然科学基金项目(61027010 60977062) 国家(863计划)(2009AA04Z315)资助 

主　　题：傅里叶变换 空间调制 红外光谱仪 多级微反射镜 误差分析 

摘      要：空间调制傅里叶变换红外光谱仪无可动部件,系统稳定而紧凑,而且程差可控,可实现在线监测和实时检测。多级微反射镜是光谱仪干涉系统的关键器件,其在系统中的位置精度对光谱仪性能影响很大。本文对多级微反射镜的倾斜误差引起的光程差变化进行了理论计算,并利用光学软件进行了模拟仿真。分析结果表明,随着多级微反射镜倾斜角度的增大,干涉图对比度下降,对应的光谱图脉冲谱线展宽,信噪比下降,严重时会出现波数偏离。以上分析方法对后期系统公差分配及装调有着重要的指导意义。