浮法抛光超光滑表面加工技术
Float polishingfor supersmooth surfaces
作 者：高宏刚 曹健林 陈斌
作者机构：应用光学国家重点实验室
出 版 物：《光学技术》 (Optical Technique)
年 卷 期：1995年第21卷第3期
页 面：40-43页
核心收录：
学科分类：08[工学] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学]
主 题：浮法抛光 锡 超精密抛光 抛光技术 光学零件
摘 要：浮法抛光技术首先出现于日本，是加工超光滑表面的先进技术之一。本文详细介绍用浮法抛光加工超光滑表面的机械结构和加工过程，与传统的沥青抛光方法进行了比较，并分析了材料去除机理。最后简单介绍我国研究浮法抛光技术的进展。
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