Mg_xZn_(1-x)O复合薄膜带隙展宽的研究

作     者：王玉新 臧谷丹 崔潇文 赵帅 王磊 李真 刘子伟 WANG Yuxin,ZANG Gudan,CUI Xiaowen,ZHAO Shuai,WANG Lei,LI Zhen,LIU Ziwei

作者机构：辽宁师范大学物理与电子技术学院辽宁大连116029 

出 版 物：《辽宁师范大学学报（自然科学版）》 (Journal of Liaoning Normal University:Natural Science Edition)

年 卷 期：2018年第41卷第2期

页      面：43-47页

学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

基　　金：辽宁省教育厅科学技术研究项目(L2015292) 

主　　题：溶胶凝胶法 ZnO薄膜 MgxZn1-xO薄膜 光致发光 带隙展宽 

摘      要：利用溶胶-凝胶旋涂工艺在普通玻璃基底上生长本征ZnO薄膜和Mg_xZn_(1-x)O复合薄膜.采用X射线衍射仪(XRD)、紫外可见分光光度计(UV-vis)、光致发光(PL)等测试手段对样品进行表征,分别对半导体合金薄膜的晶格参数与结构、结晶质量、光学透过率及其禁带宽度进行分析与研究.比较Mg_xZn_(1-x)O薄膜与本征ZnO薄膜的XRD图谱后发现,Mg元素可提高薄膜的结晶质量,但是复合薄膜的c轴择优取向没有因为Mg元素的引入而得到改善.随着Mg元素掺杂量的增加,Mg_xZn_(1-x)O(x=0.10、0.20、0.30)复合薄膜的带隙随之变宽,薄膜组分为Mg0.20Zn0.80O和Mg0.30Zn0.70O时,光致发光谱中出现了强度较大的紫外发光峰,组分为Mg0.20Zn0.80O薄膜的带隙展宽效果较为明显且光学透过率较优.