基于MEMS三相栅式位移传感器信号调理电路设计
Design of signal conditioning circuit for three-phase grating type displacement sensor based on MEMS作者机构：重庆理工大学机械检测技术与装备教育部工程研究中心重庆400054
出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)
年 卷 期：2012年第31卷第1期
页 面：94-96页
核心收录：
学科分类：083002[工学-环境工程] 0830[工学-环境科学与工程（可授工学、理学、农学学位）] 08[工学] 09[农学] 0804[工学-仪器科学与技术] 0903[农学-农业资源与环境] 0816[工学-测绘科学与技术] 081602[工学-摄影测量与遥感] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0811[工学-控制科学与工程]
基 金：重庆市自然科学基金资助项目(CSTC 2008BB2336)
主 题：微机电系统 三相栅式位移传感器 调理电路 非线性放大
摘 要：根据基于微机电系统(MEMS)的三相栅式位移传感器测量原理和输出信号特点,设计了一种信号调理电路。该电路主要由差分前置放大电路、带通有源滤波器和波形变换电路组成。波形变换电路设计采用了非线性放大方法来提高信噪比和检测灵敏度。以此信号调理电路搭建的位移测量系统读数稳定性达到1″,表明该电路稳定性达到测量要求。
维普期刊数据库
同方期刊数据库