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Adsorption and Thermal Decomposition of SiH4 on Cu(111) by Multiple-Scattering Cluster Method

吸附和由多重散布的簇方法的 Cu (111 ) 上的 SiH4 的热分解

作     者:HE Jiang-ping TANG Jing-chang 何江平;唐景昌

作者机构:Department of PhysicsState Key Laboratory of Silicon MaterialsZhejiang UniversityHangzhou 310027 

出 版 物:《Chinese Physics Letters》 (中国物理快报(英文版))

年 卷 期:2000年第17卷第7期

页      面:525-527页

核心收录:

学科分类:081704[工学-应用化学] 07[理学] 070304[理学-物理化学(含∶化学物理)] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术] 0703[理学-化学] 

基  金:Supported by the National Natural Science Foundation of China under Grant No.19974036 

主  题:method Cu(111) Adsorption 

摘      要:Adsorption and thermal decomposition of SiH4 on Cu(111)at 110 K has been studied by the calculation of silicon K-edge near edge x-ray absorption fine structure spectra using multiple-scattering cluster *** is found that the cleavage of Si-H bond yields SiH3 species adsorbed on the fcc 3-fold hollow sites on Cu(111)surface at 110K.

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