大尺寸自由曲面铝反射镜超精密抛光工艺

作     者：潘龙 宫虎 房丰洲 Pan Long;Gong Hu;Fang Fengzhou

作者机构：天津大学精密仪器与光电子工程学院天津300072 

出 版 物：《纳米技术与精密工程》 (Nanotechnology and Precision Engineering)

年 卷 期：2015年第13卷第2期

页      面：108-112页

学科分类：08[工学] 0817[工学-化学工程与技术] 0807[工学-动力工程及工程热物理] 0804[工学-仪器科学与技术] 0802[工学-机械工程] 0703[理学-化学] 0811[工学-控制科学与工程] 080201[工学-机械制造及其自动化] 0801[工学-力学（可授工学、理学学位）] 

基　　金：国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2011CB706700) 国家自然科学基金资助项目(51275344) 高等学校学科创新引智计划资助项目(B07014) 

主　　题：超精密抛光 抛光工艺 自由曲面 铝反射镜 镜面 

摘      要：针对大尺寸自由曲面铝反射镜在单点金刚石车削(SPDT)后出现的划伤、波纹等缺陷,研究了抛光介质和加工参数对自由曲面铝合金超精密抛光结果的影响.利用Wyko NT9300白光干涉仪和VHX500超景深显微镜对AA6061铝合金抛光表面进行了检测,将抛光前后的表面形貌以及不同条件下的抛光结果进行了比较.实验中采用质量分数不同的金刚石油性悬浮液作为抛光液,采用羊毛轮作为抛光轮,在一台精密加工中心上先后进行了平面抛光和自由曲面抛光实验.实验结果表明,工件的表面粗糙度Ra由抛光前的144.59 nm降低到了抛光后的6.03nm,其中油性润滑剂在抛光过程中起微量去除和降低划擦几率的关键作用,使用优化的工艺参数在AA6061自由曲面上获得了理想镜面.