多弧离子镀沉积Ti/TiN多层膜的力学和摩擦学性能
Mechanical and tribological properties of Ti/TiN multilayer film precipitated during multi-arc ion plating作者机构：兰州理工大学理学院甘肃兰州730050 甘肃省科学院传感技术研究所甘肃兰州730000 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室甘肃兰州730000
出 版 物：《兰州理工大学学报》 (Journal of Lanzhou University of Technology)
年 卷 期：2018年第44卷第2期
页 面：169-172页
学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）]
摘 要：采用多弧离子镀沉积了TiN单层薄膜和Ti/TiN多层膜,利用XRD、SEM对样品的物相结构和截面形貌进行表征,使用原子力显微镜、纳米硬度仪对其力学性能进行分析,同时采用摩擦试验机对其摩擦学性能进行了综合评价.结果表明:Ti/TiN多层膜组织结构致密,力学性能优良,相比于TiN单层薄膜,摩擦系数下降,磨损率降低了一个数量级,具有良好的减摩耐磨性.
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