BAW滤波器声-电磁协同仿真中的共地电感效应

作     者：高杨 贾乐 张大鹏 Gao Yang;Jia Le;Zhang Dapeng

作者机构：中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621999 中国科学院高能物理研究所核探测与核电子学国家重点实验室北京100049 西南科技大学信息工程学院四川绵阳621010 

出 版 物：《强激光与粒子束》 (High Power Laser and Particle Beams)

年 卷 期：2018年第30卷第6期

页      面：127-131页

核心收录：

学科分类：080902[工学-电路与系统] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 

基　　金：国家自然科学基金项目(61574131) 核探测与核电子学国家重点实验室开放课题基金项目(2016KF-02) 西南科技大学特殊环境机器人技术四川省重点实验室开放基金项目(14ZXTK01) 

主　　题：BAW滤波器 声-电磁协同仿真 电磁耦合 共地电感 

摘      要：针对体声波(BAW)滤波器声-电磁协同仿真结果中滤波器的左传输零点向左偏移的现象,验证仿真中共地电感效应的存在并分析其对滤波器性能的影响。通过分别改变BAW滤波器原始布局中的并联薄膜体声波谐振器(FBAR)P1和P4引线到地的位置,即将并联FBAR P1和P4引线到地的路径分别变短后进行声-电磁协同仿真。结果对比表明:声-电磁协同仿真中并联FBAR引线到地与输入、输出端口之间存在共地电感效应。将并联FBAR引线到地的路径变短,滤波器在声-电磁协同仿真中形成的共地电感效应减小,带外抑制性能变好。共地电感效应对于并联FBAR谐振区面积越小的支路影响越大。故在BAW滤波器声-电磁协同仿真中需考虑共地电感效应对滤波器左传输零点和左带外抑制性能的影响。