微电子机械系统研究领域的最新进展——IEEE MEMS 2018国际会议综述
作者机构：北京大学微米/纳米加工技术国家重点实验室北京100871
出 版 物：《太赫兹科学与电子信息学报》 (Journal of Terahertz Science and Electronic Information Technology)
年 卷 期：2018年第16卷第2期
页 面：372-378页
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学]
主 题：微电子机械系统 IEEE 国际会议 MEMS 综述 自动化学会 会展中心 专家学者
摘 要：18年1月21日至25日在英国贝尔法斯特会展中心举行(见图1),吸引了来自世界各国相关领域的600余位专家学者,共同探讨微纳传感工艺等领域的最新进展与科学前沿。此次会议的大会主席由来自瑞士电子与微技术中心(CSEM)的Michel Despont教授与爱尔兰都柏林城市大学的Jens Ducrée教授共同担任,并设置了最佳口头报告奖与最佳张贴报告奖,得到了国际电气与电子工程协会(IEEE)与IEEE机器人与自动化学会等多个国际组织的大力支持。
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