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IC先导开发向批量生产的技术转移

作     者:Douglas J. Welter 成福康 

作者机构:莫托洛拉双极工艺中心 

出 版 物:《微电子学》 (Microelectronics)

年 卷 期:1988年第18卷第5期

页      面:80-85页

学科分类:0202[经济学-应用经济学] 02[经济学] 

主  题:批量生产 加工工艺 小组 成批生产 加工技术 硅片 技术转移 IC 

摘      要:硅片加工工艺从研究小组转移到批量生产阶段,必须按几条指导原则来计划进行。

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