化学气相沉积MT-TiCN和HT-TiCN涂层的摩擦磨损性能

作     者：陈鹏 朱丽慧 刘振宇 CHEN Peng;ZHU Li-hui;LIU Zhen-yu

作者机构：上海大学材料科学与工程学院上海200072 Kennametal Inc美国拉特罗布15650 

出 版 物：《材料热处理学报》 (Transactions of Materials and Heat Treatment)

年 卷 期：2018年第39卷第1期

页      面：105-110页

核心收录：

学科分类：080503[工学-材料加工工程] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0704[理学-天文学] 0702[理学-物理学] 

基　　金：美国kennametal公司资助项目 

主　　题：TiCN涂层 显微结构 硬度 耐磨性 

摘      要：采用中温化学气相沉积（Medium Temperature Chemical Vapor Deposition MT-CVD）和高温化学气相沉积（High Temperature Chemical Vapor Deposition HT-CVD）在WC-Co硬质合金基体上沉积TiCN涂层。利用X射线衍射仪、扫描电镜表征涂层的显微组织结构,采用纳米压痕仪测试涂层的硬度,采用往复式多功能摩擦磨损试验机（UMT-3T）和表面轮廓仪研究MT-TiCN和HT-TiCN涂层的摩擦磨损性能。结果表明：HT-TiCN涂层比MT-TiCN涂层C/N比大,晶粒尺寸较小,硬度较高。MT-TiCN涂层表面晶粒呈透镜状,表面较为粗糙,摩擦系数较大。HT-TiCN涂层由透镜状晶粒和细小的等轴晶组成,表面较为光滑,摩擦系数较小。MTTiCN涂层磨损机制除磨粒磨损外,还包括粘着磨损和氧化磨损;HT-TiCN涂层磨损机制主要是磨粒磨损。HT-TiCN涂层晶粒形貌特殊、硬度较高、摩擦系数较小,因此,耐磨性比MT-TiCN涂层更好。