[(BaTiO_3)_m/(SrTiO_3)_m]_n超晶格生长的RHEED实时研究
Realtime Study of the Growth of[(BaTiO_3)_m/(SrTiO_3)_m]_n Superlattices Film with RHEED作者机构：电子科技大学微电子与固体电子学院四川成都610054
出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)
年 卷 期：2005年第27卷第2期
页 面：178-181页
核心收录：
学科分类：1002[医学-临床医学] 0808[工学-电气工程] 080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0703[理学-化学] 0702[理学-物理学]
主 题：反射高能电子衍射(RHEED) 超晶格 外延生长
摘 要：利用反射高能电子衍射(RHEED),研究了在SrTiO3(100)基片上采用激光分子束外延法生长的[(Ba-TiO3)m/(SrTiO3)m]n超晶格薄膜的生长特性。观察到清晰明亮的反射高能电子衍射花样及富有周期性的RHEED振荡曲线,制备的超晶格呈现良好的结晶层状外延生长,薄膜表面及界面的平整度很好。
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