玻璃衬底温度对溅射制备SnO_2-Al_2O_3双金属元素薄膜电学及光学特性的影响（英文）

作     者：李院院 罗文峰 李姝丽 成桢 赵小侠 贺俊芳 张鹏飞 徐可为 Li Yuanyuan;Luo Wenfeng;Li Shuli;Cheng Zhen;Zhao Xiaoxia;He Junfang;Zhang Pengfei;Xu Kewei

作者机构：西安文理学院陕西省表面工程与再制造重点实验室陕西西安710065 西安邮电大学陕西西安710121 

出 版 物：《稀有金属材料与工程》 (Rare Metal Materials and Engineering)

年 卷 期：2017年第46卷第11期

页      面：3217-3221页

核心收录：

学科分类：07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0702[理学-物理学] 

主　　题：SAO双金属元素薄膜 射频磁控溅射 电学特性 光学特性 

摘      要：采用射频(RF)磁控溅射法在玻璃衬底上制备了SnO_2-Al_2O_3(SAO)双金属元素薄膜。通过扫描电子显微镜SEM,X射线衍射仪XRD、四探针测量,UV-IR及光致发光(PL)谱研究了衬底温度对薄膜表面形貌、晶体微结构、电学及光学特性的影响。当衬底温度升高时,SAO薄膜的晶粒尺寸增大。SEM及XRD结果显示的均质表面结构及大晶粒尺寸表明薄膜具有良好的表面形貌和结晶度。在400~800 nm的可见光范围,薄膜的透射率可达80%~90%,计算得到薄膜的带隙4.11~4.14 eV,表面电阻7.0×10~4~9.4×10~4W/。通过合理选择溅射温度,薄膜的带隙可得到增宽,表面电阻可被降低。测量还发现,所制备SAO薄膜的PL谱在UV及红光带发光,这种多晶SAO薄膜可用于透明导电氧化物(TCO)薄膜,太阳能电池窗、传感器及光发射器。