微型器件飞秒激光加工参数对切缝坡度影响规律的实验研究
Experimental Study about Effect of Machining Parameters on Kerf Slope while Getting Microminiature Devices by Femtosecond Laser Cutting作者机构：北京航空制造工程研究所高能束流加工技术重点实验室北京100024
出 版 物：《应用激光》 (Applied Laser)
年 卷 期：2017年第37卷第5期
页 面：693-697页
学科分类：080503[工学-材料加工工程] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0802[工学-机械工程] 080201[工学-机械制造及其自动化]
摘 要：利用飞秒激光在铝箔上按设定好的轮廓程序重复扫描直至切透得到所需轮廓的微型器件,研究了飞秒激光加工参数对切缝边缘坡度的影响规律。实验结果表明,透镜焦距、扫描速度和飞秒激光能量密度与切缝坡度密切相关。切缝坡度随着扫描速度的增大而增大,随着能量密度和聚焦透镜焦距的增大而逐渐减小。实验中飞秒激光切透大块铝箔材料即微型器件脱落时停止出光,切缝未能继续发育,坡度主要由材料上表面切割缝宽决定,与飞秒激光高斯能量分布特征和去除材料的阈值密切相关。
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