离子辅助沉积对ZnS薄膜晶体结构及光学特性的影响
Influence of Ion-Assisted Deposition on Crystal Structures and Optical Characteristics of ZnS Films作者机构：中国科学院上海技术物理研究所光学薄膜与材料研究室上海200083 中国科学院大学北京100049
出 版 物：《激光与光电子学进展》 (Laser & Optoelectronics Progress)
年 卷 期：2017年第54卷第10期
页 面：457-462页
核心收录：
学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）]
主 题：薄膜 光学特性 离子束辅助沉积 硫化锌薄膜 非均匀性 折射率
摘 要：对不同离子束密度条件下辅助沉积的ZnS薄膜进行了物理及光学特性研究。研究结果表明,在离子束辅助沉积ZnS薄膜时会出现非均匀生长现象,且非均匀性和折射率会随着离子束密度的增加而增大,薄膜结晶程度也增加。薄膜的非均匀性增加了薄膜制备和设计的难度,尤其是对多层膜系的制备造成了很大的不确定性。研究结果为红外光学ZnS薄膜的研制提供了重要参考。
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