含氧量和退火处理对CrAlSiN涂层机械性能的影响

作     者：聂志伟 耿东森 黎海旭 费加喜 唐鹏 高翔 王启民 NIE Zhiwei;GENG Dongsen;LI Haixu;FEI Jiaxi;TANG Peng;GAO Xiang;WANG Qimin

作者机构：广东工业大学机电工程学院广州510006 

出 版 物：《现代制造技术与装备》 (Modern Manufacturing Technology and Equipment)

年 卷 期：2016年第52卷第3期

页      面：69-71页

学科分类：080503[工学-材料加工工程] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(51275095) 

主　　题：氧含量 CrAlSiON 硬度 结合力 

摘      要：基于氧含量对纳米复合结构CrAlSiN 涂层性能的影响,采用电弧离子镀技术在3.0Pa 气压下通入不同比例的氧氮气流沉积CrAlSiON 涂层,并对涂层做不同温度的退火处理,对比涂层硬度和结合力的变化.800 ～ 950℃温度下退火后,可以释放涂层中的残余应力,提高涂层的硬度,且不影响涂层的结合力.但1100℃退火后,涂层的硬度降低明显,且通过划痕测试可以发现,涂层完全失效.