阴极弧离子镀TiCN涂层的SEM-EDS面扫描与线扫描分析（英文）

作     者：孔德军 王进春 郭皓元 王文昌 Kong Dejun;Wang Jinchun;Guo Haoyuan;Wang Wenchang

作者机构：常州大学江苏常州213164 江苏省材料表面科学与技术重点实验室江苏常州213164 

出 版 物：《稀有金属材料与工程》 (Rare Metal Materials and Engineering)

年 卷 期：2015年第44卷第12期

页      面：3000-3004页

核心收录：

学科分类：080503[工学-材料加工工程] 0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 0806[工学-冶金工程] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0703[理学-化学] 0702[理学-物理学] 

基　　金：The Science and Technology Support Project of Jiangsu Province China(BE2014818) 

主　　题：TiCN涂层 SEM-EDS面扫描 SEM-EDS线扫描 结合强度 

摘      要：采用阴极弧离子镀在Cr12MoV冷作模具钢表面制备了TiCN涂层,通过扫描电镜(SEM)和能谱仪(EDS)分析了涂层表面化学元素的面分布和界面化学元素的线分布。讨论了涂层界面结合机理,用划痕法对结合强度进行了表征分析。结果表明,涂层主要是由TiN、TiC和C原子组成,其中TiN和TiC提高了涂层硬度,C原子改善了涂层摩擦润滑性能;涂层中N原子分数超过C原子分数,界面结合处发生了相互扩散,涂层中C原子扩散量最大,基体中Si原子扩散量最大,涂层与基体形成了冶金结合,利用划痕法测定TiCN涂层结合强度为79.6 N。