半导体工艺流程和器件的辅助设计与仿真软件
出 版 物：《电子与电脑》 (Compotech)
年 卷 期：2004年第4卷第2期
页 面：173-176页
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学]
主 题：TCAD 半导体 工艺流程 电子设计工具 EDA 电学行为 电路缺陷
摘 要：TCAD(Technologv CAD)是一种半导体工艺流程和器件方面的计算机辅助设计与仿真软件，它与我们所熟知的电子设计工具EDA(Electronic Design Automation)一样，是现代集成电路设计和制备不可缺少的重要工具。但是，在功能范围上，EDA主要包括电路和逻辑功能模拟及线路布局，而TCAD的应用领域则包括半导体工艺流程、器件物理。
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