深紫外激光光发射与热发射电子显微镜在热扩散阴极研究中的应用
Applications of deep ultraviolet laser photo- and thermal-emission electron microscope in thermal dispenser cathode research作者机构：中国科学院电子学研究所高功率微波源与技术实验室北京100190 中国科学院大学北京100039 中国科学院理化技术研究所功能晶体与激光技术重点实验室北京100190 北京中科科仪股份有限公司北京100190
出 版 物：《物理学报》 (Acta Physica Sinica)
年 卷 期：2017年第66卷第18期
页 面：225-234页
核心收录：
学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学]
基 金：国家科技重大专项(批准号:2012YQ120048)资助的课题~~
主 题：深紫外激光 光发射电子显微镜 热发射电子显微镜 扩散阴极
摘 要：对热扩散阴极表面微区发射状态进行原位观察和分析一直是热阴极研究的重要课题.本文着重介绍深紫外激光光发射电子/热发射电子显微镜的基本原理及其在热扩散阴极研究中的典型实例.系统配备了高温激活所用的加热装置,样品可被加热至1400℃.系统具有光发射电子、阴极热发射电子、光发射电子和阴极热发射电子联合三种电子成像模式.应用表明,对于热扩散阴极而言,深紫外激光光发射电子像适于呈现阴极表面的微观结构形貌;热发射电子像适于反映阴极表面的本征热电子发射及均匀性;光电子和热电子联合成像适于对阴极表面的有效发射点做出精确定位.
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