远程控制在MOCVD系统中的设计与应用
Remote control in industrial automation作者机构:西安电子科技大学理学院陕西西安710071
出 版 物:《西安电子科技大学学报》 (Journal of Xidian University)
年 卷 期:2005年第32卷第2期
页 面:253-255页
核心收录:
学科分类:08[工学] 0835[工学-软件工程] 0802[工学-机械工程] 080201[工学-机械制造及其自动化]
主 题:远程控制 工业控制 TCP 金属有机化学蒸发沉积物(MOCVD)
摘 要:结合传统的工业控制模型和最新的计算机网络技术,给出了基于TCP协议的远程控制模型和工业解决方案,并进一步给出了在研制的生长GaN材料的金属有机化学蒸发沉积物(MOCVD)设备中的应用,经过试用,取得了良好的应用效果.