ZrCl_4蒸汽法沉积ZrC涂层的锆源输送装置

作     者：刘超 刘兵 邵友林 李自强 唐春和 LIU Chao;LIU Bing;SHAO Youlin;LI Ziqiang;TANG Chunhe

作者机构：清华大学核能与新能源技术研究院北京100084 

出 版 物：《清华大学学报（自然科学版）》 (Journal of Tsinghua University(Science and Technology))

年 卷 期：2008年第48卷第3期

页      面：449-452页

核心收录：

学科分类：082703[工学-核技术及应用] 08[工学] 0827[工学-核科学与技术] 

基　　金：国家"八六三"高技术项目(863-614-02) 

主　　题：ZrCl4蒸汽 化学气相沉积 包覆燃料颗粒 ZrC涂层 锆源输送装置 

摘      要：为解决ZrCl4蒸汽法化学气相沉积包覆燃料颗粒ZrC涂层时锆源输送的控制问题,设计制造了锆源输送装置。改装坩埚电阻炉,配备温度控制箱,以满足蒸发器的连接和控温要求;设计不锈钢蒸发器与耐高温、腐蚀压力表以满足腐蚀性气体测压要求;使用加热带和玻璃纤维布以满足ZrCl4蒸汽输送过程保温要求。最后进行ZrCl4蒸汽载带实验。实验结果表明,通过控制蒸发器加热温度和载气流量该装置可以实现ZrCl4蒸汽的定量载带,为ZrCl4蒸汽法沉积ZrC涂层提供了设备基础。