准分子激光器中张氏面型电极的电场仿真研究

作     者：朱能伟 方晓东 梁勖 赵读亮 ZHU Nengwei;FANG Xiaodong;LIANG Xu;ZHAO Duliang

作者机构：中国科学院安徽光学精密机械研究所合肥230031 中国科学技术大学研究生院科学岛分院合肥230026 

出 版 物：《激光技术》 (Laser Technology)

年 卷 期：2017年第41卷第5期

页      面：680-683页

学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(61307112) 

主　　题：光学器件 激光器 电场分布 数值仿真 紧凑型张氏面型电极 

摘      要：为了获得准分子激光器高脉冲能量输出,采用张氏面型电极的理论,设计了一套能产生大面积均匀电场的紧凑型电极。通过ANSYS软件数值仿真获得了电极表面电场分布,并与紧凑型张氏面型电极的理论计算结果进行了对比验证;分析了紫外火花预电离结构对电极放电的影响,并进行了电位和电场分布仿真。结果表明,预电离板的存在直接影响了电极之间的电位和电场分布;电场仿真结果解释了预电离板的顶端与阳极形成放电的原因。该研究为大面积辉光放电电极设计提供了更深入的理论支持。