非线性微机械谐振器的频率跟踪控制及数值仿真
Resonance Frequency Tracking Control for Nonlinear MEMS Resonator作者机构：南京信息工程大学电子与信息工程学院南京210044 江苏省气象探测与信息处理重点实验室南京210044
出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)
年 卷 期：2012年第25卷第3期
页 面：338-343页
核心收录：
学科分类：0711[理学-系统科学] 0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 07[理学] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 080402[工学-测试计量技术及仪器] 0802[工学-机械工程] 0811[工学-控制科学与工程]
基 金：公益性行业(气象)科研专项(GYHY200906037) 国家自然科学基金项目(41075026) 南京信息工程大学科研基金(S8111065001)
主 题：微机械电子系统 谐振器 非线性 锁相技术 平均周期法
摘 要：本文分析了微机械谐振器的非线性动力学原理,根据振梁的非线性谐振条件下激励与检测信号相位关系,确定了基于锁相技术驱动的系统分析模型。利用平均周期法得到了系统稳定条件和稳态平衡点,理论分析和仿真表明:振梁刚度的高次项系数的增大,不影响系统的稳定性;当积分控制器系数小于临界值时,频率跟踪时间长,不出现频率抖动;反之,频率跟踪稳定时间短,频率抖动。
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