频闪动态干涉法测量离面位移的研究
In-plane-rigid-body Motions on Strobo Scopic Imaging Method作者机构：武汉理工大学物流工程学院武汉430063
出 版 物：《武汉理工大学学报（交通科学与工程版）》 (Journal of Wuhan University of Technology（Transportation Science & Engineering）)
年 卷 期：2011年第35卷第3期
页 面：630-633页
学科分类：080903[工学-微电子学与固体电子学] 0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 0802[工学-机械工程] 0801[工学-力学（可授工学、理学学位）]
摘 要：频闪视觉测量和频闪干涉测量代表了目前先进的微机电系统动态测试技术,尤其在非接触无损测量技术有重要意义.通过微机电三维静动态测试系统,综合运用等厚干涉原理和基片曲率法,实时测量,计算出镀膜样品在升温和退火过程中应力的变化.结果表明,该方法适合测量微机电器件的离面位移.
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