自混合干涉型振动仪应用于PZT特性的测量

作     者：张德辉 禹延光 叶会英 ZHANG De-hui;YU Yan-guang;YE Hui-ying

作者机构：郑州大学信息工程学院河南郑州450052 

出 版 物：《光电子．激光》 (Journal of Optoelectronics·Laser)

年 卷 期：2005年第16卷第6期

页      面：714-717页

核心收录：

学科分类：0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080203[工学-机械设计及理论] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0802[工学-机械工程] 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60178039) 河南省自然科学基金重点资助项目(0111060200) 

主　　题：PZT 振动仪 干涉型 激光自混合干涉 应用 测试技术 运动信息 干涉信号 特性测量 压电陶瓷 原理设计 样品测试 装置结构 滞回特性 动态响应 单光束 激光束 等参数 叠片式 圆柱形 SMI 高精度 物体 散射 分光 

摘      要：激光自混合干涉(SMI)是新浮现的一种干涉测试技术,其利用出射激光束的一小部分光被外部物体反射或散射后馈回激光腔形成单光束自混合干涉,这种干涉信号携载被照射的物体的运动信息,可以用于振动、位移等参数的测量。本文基于该原理设计出对压电陶瓷(PZT)动态特性测量的装置。通过对圆柱形单层和叠片式PZT样品测试,结果表明,利用激光SMI测量PZT特性,实验装置结构简单,可以实现高精度适时检测PZT动态响应和滞回特性。