AFM电化学阳极氧化制备二氧化钛纳米线
Preparation of TiO_2 Nanowire by Atomic Force Microscopy Electrochemical Anode Oxidation作者机构:上海大学射线应用研究所上海201800
出 版 物:《无机化学学报》 (Chinese Journal of Inorganic Chemistry)
年 卷 期:2004年第20卷第11期
页 面:1325-1328页
核心收录:
学科分类:081704[工学-应用化学] 07[理学] 070205[理学-凝聚态物理] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 0703[理学-化学] 070301[理学-无机化学] 0702[理学-物理学]
基 金:上海市应用材料研究发展基金(No.0318) 上海市启明星基金(No.03QB14017)
主 题:二氧化钛纳米线 原子力显微镜 微细加工技术 阳极氧化
摘 要:TiO2 nanowires on Ti/ SiO2/ Si were prepared by Atomic Force Microscopy(AFM) anode oxidation. The effects of applied bias and duration on the formation TiO2 nanowires were discussed. The results show that the thickness of titanium oxide is inversely proportional to the square root of applied bias and duration.