微电子机械系统中微致动器力矩测试技术的研究
STUDY ON THE MICRO-TORQUE MEASUREMENT FOR MICRO-ACTUATORS IN MEMS作者机构：长春光学精密机械学院吉林长春130022 长春光学精密机械与物理研究所
出 版 物：《兵工学报》 (Acta Armamentarii)
年 卷 期：2002年第23卷第2期
页 面：228-230页
核心收录：
学科分类：08[工学] 080203[工学-机械设计及理论] 0802[工学-机械工程] 0801[工学-力学（可授工学、理学学位）]
摘 要：本文提出了一种新的非接触式、高灵敏度微致动器输出力矩动态测试方法 ,以非接触测量代替接触测量 ,改间接测量为直接测量 ,最大限度地减少中间环节及测量影响因素 ,测量精度可提高一个数量级 ,测量范围可提高到 10 - 4～ 10 - 7Nm .同时 ,设计了非接触、高灵敏度微致动器力矩动态测量仪 ,并对其中的两项关键技术—非接触微力制动和微力自动加载进行了论述 。
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