AlN薄膜取向程度与实验参数间的函数关系

作     者：许小红 张富强 武海顺 张聪杰 李佐宜 XU Xiao-Hong1,2, ZHANG Fu-Qiang1, WU Hai-Shun1, ZHANG Cong-Jie1 , LI Zuo-Yi2 (1. Department of Chemistry, Shanxi Normal University, Linfen 041004, China;2. Department of Elec- tronic Science and Technology, Huazhong University of Science and Technology,W

作者机构：山西师范大学化学系 华中科技大学电子科学与技术系武汉430074 

出 版 物：《无机材料学报》 (Journal of Inorganic Materials)

年 卷 期：2001年第16卷第6期

页      面：1161-1168页

核心收录：

学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

基　　金：教育部高等学校骨干教师资助计划项目 山西省自然科学基金 山西省青年科学基金资助 

主　　题：氮化铝薄膜 实验参数 择优取向 函数关系 制备 反应溅射 

摘      要：反应溅射制备ＡｌＮ 薄膜时，薄膜的择优取向与众多的实验参数有关．建立晶面择优取向程度与溅射气压、靶基距、靶功率等重要实验参数之间的函数关系，避免了研究每一项参数对薄膜择优取向影响所需的实验次数的繁多，得到制备择优取向程度最佳薄膜的实验参数．同时，通过用该函数关系式计算得到结果与实验结果比较，发现两者具有很好的一致性．这一系列函数关系式的建立，对进一步设计新的实验方案、验证已有的实验结果以及制备良好择优取向薄膜都有着重要意义．