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金刚石薄膜与硬质合金刀具膜-基结合性能研究进展

Research Progress of Diamond Film Adhesion on Cemented Carbide Cutting Tools

作     者:黄磊 王陶 唐永炳 HUANG Lei WANG Tao TANG Yongbing

作者机构:中国科学院深圳先进技术研究院功能薄膜材料研究中心深圳518055 

出 版 物:《集成技术》 (Journal of Integration Technology)

年 卷 期:2017年第6卷第4期

页      面:29-37页

学科分类:080503[工学-材料加工工程] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 0802[工学-机械工程] 080201[工学-机械制造及其自动化] 

基  金:广东省创新团队项目(2013C090) 广东省自然科学基金(2014A030310482) 深圳市科技计划项目(JCYJ20160122143155757) 中国科学院科研设备项目(yz201440) 

主  题:金刚石薄膜 化学气相沉积 膜-基结合力 

摘      要:薄膜与基体间的界面结合性能是决定薄膜性能的关键因素。如何提高膜-基界面结合强度,保证刀具正常使用寿命,已成为金刚石涂层工具产业化亟待解决的主要问题。文章综述了影响金刚石薄膜附着性能的主要因素,总结了近年来在金刚石薄膜与基体间附着力研究方面的主要进展,并对金刚石薄膜未来发展趋势进行了展望。

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