用于液相生物量检测的单片阵列QCM传感器
Monolithic scanning QCM sensor array for biomass detecting in liquid作者机构：清华大学深圳研究生院深圳518055 深圳清华大学研究院深圳518057
出 版 物：《仪器仪表学报》 (Chinese Journal of Scientific Instrument)
年 卷 期：2006年第27卷第Z2期
页 面：1630-1632页
核心收录：
学科分类：08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0811[工学-控制科学与工程]
主 题：石英晶体微天平 阵列式传感器 生物传感器 液相 网络分析仪
摘 要：设计并制作了一种单片集成的阵列式QCM(石英晶体微天平)传感器,介绍了设计思想和方法,用网络分析仪对实验器件进行了分析。阵列传感器设计成分时扫描激励的工作模式,通过选通电路对阵列各单元进行扫描激励,实现各单元的依次工作。避免了各谐振器单元之间可能的振动耦合,从而可以在单个石英晶片上集成尽可能多的器件。该阵列式QCM传感器加工工艺简单,频率一致性好,平均频率稳定度达到±0．2ppm／h。
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