CVD金刚石薄膜基体材料的选择
SELECTION OF CVD DIAMOND FILM SUBSTRATES作者机构:郑州大学物理系
出 版 物:《金刚石与磨料磨具工程》 (Diamond & Abrasives Engineering)
年 卷 期:2004年第24卷第3期
页 面:50-51页
核心收录:
学科分类:081702[工学-化学工艺] 08[工学] 0817[工学-化学工程与技术] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)]
摘 要:论述了CVD金刚石薄膜基体材料的性质 ,给出了选择金刚石薄膜基体材料的方法 ,并对各种材料的膜基结合力情况作了简要评述。