红外测径仪YPIR-QT的应用及改进
Application and improvement of infrared diameter test device YPIR - QT作者机构：西安理工大学陕西西安710048 西安工业大学陕西西安710048
出 版 物：《激光与红外》 (Laser & Infrared)
年 卷 期：2013年第43卷第9期
页 面：1040-1043页
核心收录：
学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程]
主 题：直拉法 智能化改进 红外测径仪YPIR-QT
摘 要：高质量锗单晶材料在信息产业、航空航天和国防军工等高新技术领域应用广泛。直拉法为锗单晶生长的主要方法,单晶直径检测是直拉法的重要环节。本文介绍锗单晶直拉法生长过程中,红外测径仪YPIR-QT的应用情况,对单晶直径进行测量,其输出信号作为单晶直径控制系统的反馈信号;同时,对红外测径仪YPIR-QT的智能化改进提出简要阐述。
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