纳米三坐标测量机模拟接触式探头的标定(英文)

作     者：钱剑钊 黄强先 李瑞君 龚伟 王志伟 王晨晨 QIAN Jianzhao;HUANG Qiangxian;LI Ruijun;GONG Wei;WANG Zhiwei;WANG Chenchen

作者机构：合肥工业大学仪器科学与光电工程学院合肥230009 安徽电气工程职业技术学院自动化与信息工程系合肥230051 

出 版 物：《传感技术学报》 (Chinese Journal of Sensors and Actuators)

年 卷 期：2012年第25卷第5期

页      面：604-608页

核心收录：

学科分类：08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 080402[工学-测试计量技术及仪器] 

基　　金：国家高技术研究发展计划(863计划)No.2008AA042409 国家自然科学基金Nos.50875073与Nos.50975075 

主　　题：模拟探头 DVD激光读取头 标定 纳米三坐标测量机 

摘      要：三坐标测量机的高精度模拟接触式探头在计算探头球尖位移与传感器输出的关系时需要空间坐标转换模型与标定参数。标定方法基于自己研发的模拟接触式探头,该探头由带有光纤球头的的金属丝悬浮机构,二维角度传感器,小型迈克尔逊干涉仪组成。通过空间坐标转换,矩阵计算模型和标定实验的建立,重点描述了一种特定的标定方法与标定了模型的未知参数。实验结果表明三坐标测量机在x、y、z三方向上测量的标定值与实际值的位移误差的标准差小于30 nm,证明该方法具有一定的可行性与有效性。