光学自由曲面面形检测技术

作     者：张磊 刘东 师途 杨甬英 李劲松 俞本立 ZHANG Lei;LIU Dong;SHI Tu;YANG Yong-ying;LI Jing-song;YU Ben-li

作者机构：安徽大学光电信息获取与控制教育部重点实验室安徽合肥230601 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室浙江杭州310027 

出 版 物：《中国光学》 (Chinese Optics)

年 卷 期：2017年第10卷第3期

页      面：283-299页

核心收录：

学科分类：080706[工学-化工过程机械] 080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 0807[工学-动力工程及工程热物理] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程] 0702[理学-物理学] 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(No.61675005 No.61440010) 安徽省自然科学基金资助项目(No.1508085MF118) 安徽省科技攻关项目(No.1501041136) 国家重点研发专项(No.2016YFC0302202) 安徽大学博士科研启动项目(No.J01003208)~~ 

主　　题：自由曲面检测 干涉检测法 子孔径拼接 非旋转对称像差补偿 

摘      要：光学自由曲面因其表面自由度较大,可以针对性地提供或矫正不同的轴上或轴外像差,同时满足现代光学系统高性能、轻量化和微型化的要求,逐渐成为现代光学工程领域的热点。自由曲面的检测技术已经成为制约其应用的最重要因素,而目前精密光学自由曲面的检测手段仍然沿用非球面检测方法。本文回顾了近年来的自由曲面检测发展历程,对目前主流的非接触式检测方法(微透镜阵列法,结构光三维检测法,相干层析术,干涉检测法)进行了重点介绍;总结了非球面检测方法运用到自由曲面检测中的技术难点,同时结合这些技术难点,展望了自由曲面检测的未来发展新趋势,主要集中在非旋转对称像差的动态补偿、分区域像差的回程误差校准及子孔径拼接技术。