Ag中间层对FePd薄膜结构及磁性能的影响

作     者：许小宗 成钢 马垒 李林 饶光辉 XU Xiaozong;CHENG Gang;MA Lei;LI Lin;RAO Guanghui

作者机构：桂林电子科技大学材料科学与工程学院广西桂林541004 

出 版 物：《热加工工艺》 (Hot Working Technology)

年 卷 期：2017年第46卷第6期

页      面：123-126页

学科分类：080503[工学-材料加工工程] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

基　　金：国家重点基础研究项目(973项目 2014CB643703) 国家自然科学基金资助项目(51261004 51461012) 广西高校科研项目(YB2014118) 

主　　题：FePd薄膜 有序化转变 Ag中间层 磁性能 

摘      要：采用磁控溅射方法在石英玻璃上制备了FePd(93 nm)单层膜和FePd(46.5 nm)/Ag(10 nm)/FePd(46.5 nm)多层膜,并在600℃退火不同时间,通过XRD、VSM对薄膜样品的结构和磁性能进行测量。结果发现:FePd单层膜在600℃退火240 min后有序化转变不明显,300 min后部分有序化,360 min后基本上完全有序化,形成了有序面心四方结构的L1_0-FePd相;当热处理时间为420 min时,有最大的面内矫顽力,约为1670 Oe;Ag中间层对溅射态的FePd薄膜衍射峰的形成有抑制作用,Ag中间层的添加可大幅缩短FePd有序化的时间;样品热处理5 min后就开始有序化,热处理15 min后样品性能即可达到最好,有最大的面内矫顽力2660 Oe,但热处理时间过长会使薄膜磁性能变差。