电容式微机械静电伺服加速度计模型建立
Setup of the Models on Micromachined Capacitive Electrostatic Servo-Accelerometer作者机构：中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621900 电子科技大学四川成都610054
出 版 物：《探测与控制学报》 (Journal of Detection & Control)
年 卷 期：2003年第25卷第1期
页 面：29-33页
学科分类：08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 081102[工学-检测技术与自动化装置] 0811[工学-控制科学与工程]
基 金：国防科技重点预研项目基金资助课题 ( 5 .3 .9)
主 题：微机械加速度计 经典力学模型 动态模型 电模拟模型 微机电系统 结构 工作原理 惯性敏感单元 伺服电子线路
摘 要：阐述了电容式微机械静电伺服加速度计系统的基本结构和工作原理 ,详细分析并建立了在空间任一给定加速度 a下加速度计的静态、动态和电模拟模型 ,指出敏感质量块各方向上的运动仅决定于该方向的加速度 ,由此建立各方向上的运动方程 ,并给出各参数的计算公式 ,为加速度计的设计和仿真奠定扎实基础。
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