基于组合Fabry-Perot膜系的中波红外双色滤光片设计

作     者：蔡渊 周晟 刘定权 Cai Yuan;Zhou Sheng;Liu Dingquan

作者机构：中国科学院上海技术物理研究所上海200083 中国科学院大学北京100049 上海科技大学物质学院上海200031 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：2016年第36卷第2期

页      面：195-202页

核心收录：

学科分类：0808[工学-电气工程] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0702[理学-物理学] 

基　　金：中科院上海技术物理研究所2014年度创新专项(CX-23) 

主　　题：光学设计 光学薄膜 双色滤光片 膜系设计 法布里-珀罗滤光片 红外滤光片 

摘      要：双色滤光片的膜系设计方法有多种，如自动优化设计、缓冲层和组合膜系设计、加厚间隔层的Fabry-Perot（F-P）膜系、双峰结构F-P膜系的多次重复，以及具有分形结构的F-P膜系设计等方法。但它们在特定通道带宽和通道间距要求的膜系设计中，或者在膜系的工艺可实施性方面存在一定的局限性。运用目标光谱拟合优化后的两个具有增透带的F-P膜系相组合的设计方法，有效解决了较宽通道带宽和较大通道间距的双色滤光片的设计问题。采用Ge和SiO两种材料，利用有限的38层薄膜，在中波红外波段设计出了波形良好的双色滤光片，其两个通道的相对带宽均为9％，两个通道中心波长位置比可以在1．4～5．0的范围内进行调整，通带边缘陡度不大于2．0％。这种膜系结构的双色滤光片具有通带宽度和位置方便调控的特点，并有较强的可实施性。