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基于全内反射的偏振相位差快速测量

Quick Measurement of Polarization Phase Difference Based on Total Internal Reflection

作     者:蔡清元 罗海瀚 陈刚 刘定权 

作者机构:中国科学院上海技术物理研究所上海200083 

出 版 物:《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期:2013年第33卷第B12期

页      面:225-229页

核心收录:

学科分类:08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 

基  金:中国科学院上海技术物理研究所创新专项(Q-DX-24)、上海市自然科学基金青年项目(13ZR1463700) 

主  题:薄膜 光学监控 偏振相位差 全内反射 快速测量 

摘      要:采用琼斯矩阵进行系统偏振分析,提出了一种基于全内反射的偏振相位差快速测量方法。采用光学薄膜特征矩阵理论对薄膜进行光学特性分析,导出了通过测量全内反射偏振相位差以获取体材料折射率以及膜层厚度的关系式。实验采用该方法获得了K9玻璃的色散曲线,分析了其膜层厚度的监控灵敏度,并与透射率监控方式进行比较。研究结果表明:采用该方法获得的K9玻璃色散曲线与标准曲线非常吻合;该方法相较于透射率监控具有更高的厚度监控灵敏度和折射率测量精度。

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