超精密机床的压电作动器隔振系统研究
Piezoelectric Actuator in Active Vibration Control for Ultra precision Turning Machine出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)
年 卷 期：2000年第22卷第3期
页 面：160-162页
核心收录：
学科分类：080503[工学-材料加工工程] 08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0802[工学-机械工程] 080201[工学-机械制造及其自动化]
基 金：国家高技术研究发展计划(863计划)(59835180)
摘 要：压电作动器是振动主动控制中最常用的一种执行机构。文章分析了各种压电作动器的特点及应用范围 ,并用压电陶瓷作动器对超精密机床实施振动主动控制。结果表明 ,该系统应用控制器克服了压电元件的迟滞特性、蠕变特性和非线性后 ,能有效的控制地基振动对超精密机床的影响 ,提高了超精密机床的加工精度
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