回转对称微结构光学模具的超精密切削B轴旋转加工工艺

作     者：高兴 李勇 钟昊 岳全 李朝将 GAO Xing

作者机构：清华大学机械工程系精密超精密制造装备及控制北京市重点实验室摩擦学国家重点实验室北京100084 

出 版 物：《清华大学学报（自然科学版）》 (Journal of Tsinghua University(Science and Technology))

年 卷 期：2017年第57卷第2期

页      面：120-127页

核心收录：

学科分类：0810[工学-信息与通信工程] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0701[理学-数学] 0812[工学-计算机科学与技术（可授工学、理学学位）] 

基　　金：北京市自然科学基金资助项目(3131003) 

主　　题：超精密切削 B轴旋转加工工艺 回转对称微结构 光学模具 结构完整性 

摘      要：为避免回转对称微结构光学模具加工中产生的毛刺、尖角缺损及表面划痕,提出一种基于超精密切削的B轴旋转加工工艺。通过实验研究加工路径、切削速度、B轴旋转速度及切深等影响微模具面形精度和表面质量的主要因素,优化切削轨迹规划与加工参数,开展了2种微结构模具的加工实验,得到尺寸精度小于1.4μm、表面粗糙度小于14nm的结构完整性较好、表面无划痕的模具。实验结果验证了回转对称微结构光学模具B轴旋转加工工艺的可行性。