有机衬底上掺Sb的SnO_2透明导电膜的性质与制备参数关系的研究
Study on Relationship between the Properties of Transparent Conducting SnO _ 2∶Sb Films Deposited on Organic Substrates and Fabricating Parameters作者机构：山东理工大学物理系淄博255049
出 版 物：《光电子技术》 (Optoelectronic Technology)
年 卷 期：2002年第22卷第2期
页 面：63-67页
学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）]
基 金：山东省计委九五攻关项目 (鲁计投资 199760 2 )资助课题
主 题：有机衬底 导电膜 制备参数 透明薄膜 光电特性 溅射 掺铅 氧化锡
摘 要：采用射频磁控溅射法在透明聚酯胶片上制备出了 Sn O2 ∶ Sb透明导电膜 ,主要讨论了制备条件对薄膜光电特性的影响。制备的样品为多晶薄膜 ,并且保持了二氧化锡的金红石结构 ,具有明显的 [1 1 0 ]的趋向。通过调节制备参数 ,制备出了电阻率为 3 .7× 1 0 -3 Ω· cm,平均透过率高于 80
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